掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope，SEM)是一種高分辨率的電子顯微鏡，廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等多個領域。其工作原理基于電子與物質間的相互作用，通過發(fā)射電子束并使其在樣品表面掃描，從而激發(fā)樣品產生各種物理信號，這些信號再被收集、放大并轉換成圖像。
掃描電鏡
在工作時，掃描電鏡的電子槍發(fā)射出電子束，這些電子在加速電壓的作用下，經過電磁透鏡聚焦成細小的束斑。隨后，電子束在掃描線圈的作用下，按一定規(guī)律在樣品表面進行掃描。當電子束照射到樣品表面時，會與樣品中的原子發(fā)生相互作用，激發(fā)出二次電子、背散射電子等信號。這些信號被相應的探測器接收，并經過放大處理后，最終轉換成圖像顯示在屏幕上。
功能
1)臺式電鏡緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；
2)高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3)快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4)高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；
5)大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6)高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7)可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；
8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求；
9)搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。
結構組成方面，掃描電鏡主要由電子光學系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、信號收集系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)以及電源系統(tǒng)六大部分組成。其中，電子光學系統(tǒng)負責產生和聚焦電子束；掃描系統(tǒng)控制電子束在樣品表面的掃描；信號收集系統(tǒng)接收并放大樣品激發(fā)出的信號；圖像顯示和記錄系統(tǒng)將放大后的信號轉換成圖像并記錄下來；真空系統(tǒng)確保鏡筒和樣品室中的高真空環(huán)境，以避免電子束與氣體分子發(fā)生碰撞；電源系統(tǒng)為整個儀器提供所需的電力。
應用案例
金屬材料分析
花粉微觀形態(tài)
綜上所述，掃描電鏡憑借其的工作原理和精細的結構組成，在微觀世界的探索中發(fā)揮著不可替代的作用。
更新時間：2025-09-25
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三坐標測量儀