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當前位置:首頁產品中心顯微測量儀白光干涉儀國產白光干涉儀
國產白光干涉儀

產品簡介

基于白光干涉原理,中圖儀器自主研發(fā)生產的SuperViwe W1國產白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。廣泛應用于3C電子、微納米材料、微機電、光學加工、半導體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。

產品型號:
更新時間:2025-04-05
廠商性質:生產廠家
訪問量:6720
詳細介紹在線留言

白光干涉儀是3D檢測領域中高精度的精密測量儀器之一,特別是在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域。市場中的國外白光干涉儀品牌,因為價格昂貴,讓很多企業(yè)望而卻步,品質和售后也是參差不齊。做的好的國產白光干涉儀不多,中圖儀器自主研發(fā)生產的SuperView W1白光干涉儀算一個。

 

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SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標,品質和售后也有保障,更大的優(yōu)勢是軟件方面?;诎坠飧缮嬖?,中圖儀器自主研發(fā)生產的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其*的3D重建算法,自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別,讓3D測量變得簡單。

 

產品參數

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標準配置

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可選配置

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產品特點

1、參數測量:粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網打盡;

2、環(huán)境噪聲檢測:實時監(jiān)測,納米波動,也無可藏匿;

3、雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石”也能安然無恙;

4、自動拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫”;

5、雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動”。

 

650組成部件解析.jpg

 

性能特征

1、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測量精度和測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數據自動統(tǒng)計,可視化窗口,結合自定義分析模板的自動化測量功能,實現了快速批量測量的功能,自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

(1)軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位,設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當鏡頭運動到該位置時,就立刻停止不再向下運動,起到保護樣品和鏡頭的作用。

(2)Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關,不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設備和產品,也守護每一分價值和信任。

 

應用領域

60012063.jpg

 

中圖儀器研發(fā)生產的SuperView W1國產白光干涉儀讓輪廓測量價格更為實惠,分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

 

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產和銷售。經過十多年在幾何量測量領域的潛心研究,設計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案。

 

 

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