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中圖儀器國產(chǎn)3d共聚焦顯微鏡賦能B端企業(yè)降本增效，在半導體、3C電子、汽車零部件、微納材料等工業(yè)領(lǐng)域，測量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)。憑借自主研發(fā)突破、精準適配工業(yè)需求、高性價比與本土化服務優(yōu)勢，助力企業(yè)實現(xiàn)“精準測量+成本可控+高效運維”的三重價值。

VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；以及2)二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量。

VT6000輪廓尺寸檢測共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000白光共焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器微觀3D形貌共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

VT6000微納米形貌測量共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。