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SuperViewW快速聚焦光學(xué)三維3D輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸.

SJ5800表面粗糙度輪廓度一體測(cè)量?jī)x超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、特殊紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)提供轉(zhuǎn)動(dòng)的超高靈敏度及測(cè)量精度。分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無(wú)需切換模塊。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器螺紋輪廓測(cè)量?jī)x可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過(guò)能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題?？梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測(cè)量，大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。

SJ5800工件輪廓圓度接觸式測(cè)量?jī)x可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測(cè)量。

SuperViewW材料表面光學(xué)三維形貌儀也叫白光干涉儀、光學(xué)3D表面輪廓儀。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。