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SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5730-100精密輪廓測量儀是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器，為大曲面粗糙度測量提供了新的解決方案。該儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。可覆蓋8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計，隔離地面震動與噪聲干擾。

中圖儀器粗糙度輪廓儀可測量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械五金加工、汽車零部件、軸承、機(jī)床零部件、模具、光學(xué)零部件加工等行業(yè)。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計算機(jī)通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。