便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000便攜式激光干涉儀器配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。線性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測量光路。

直線度測量參數(shù)

系統(tǒng)主要組件

1、激光主機(jī)

準(zhǔn)確——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計(jì)算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。

2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

可靠——對(duì)空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監(jiān)測被測對(duì)象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì)，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱