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光纖激光尺中圖儀器

產(chǎn)品簡介

PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

產(chǎn)品型號:PLR3000
更新時(shí)間:2025-09-30
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:102
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PLR3000光纖激光尺中圖儀器是新一代高精度位置檢測設(shè)備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。

光纖激光尺中圖儀器


PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

光纖激光尺中圖儀器

功能特點(diǎn)

1、高分辨率數(shù)字正交信號輸出,分辨率達(dá)10nm(可外部拓展)。 

2、高測量精度,線性測量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

3、高穩(wěn)頻精度,可達(dá)0.02~0.05ppm。

4、測量范圍大,最大量程可達(dá)4m(可拓展)。

5、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離,通過3m鎧裝光纖與電纜連接,可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測量設(shè)備,便于安裝,同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對測量通路的影響。

6、輸出正交數(shù)字信號或1Vpp正余弦信號,可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧,適合狹小空間安裝,可最大限度降低阿貝誤差。 

8、即可作為激光干涉儀進(jìn)行測量,也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

9、多通道輸出,可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測量及多自由度測量。

10、環(huán)境補(bǔ)償功能,一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響,保證測量的準(zhǔn)確性。


核心優(yōu)勢

1. 高精度  

(1)分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩(wěn)頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。  

(2)環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。  

2. 靈活配置  

(1)支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量。  

(2)可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復(fù)雜場景。 

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

(1)激光光源與探頭分離設(shè)計(jì),3米鎧裝光纖連接,避免設(shè)備散熱干擾,安裝靈活。  

(2)體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米(可拓展),支持動態(tài)速度達(dá)2m/s,覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動場景。

光纖激光尺中圖儀器

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造:光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺反饋控制。  

航空航天:發(fā)動機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)。  

精密加工:數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動位置反饋、微機(jī)械元件測量。  

科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。  


服務(wù)與支持

定制化方案:根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。  

專業(yè)認(rèn)證:提供激光校準(zhǔn)證書,確保數(shù)據(jù)性。  

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò):1年質(zhì)保,技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng),快速解決現(xiàn)場問題。   

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