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SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計，隔離地面震動與噪聲干擾。

SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設(shè)好視場參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測量。