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中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

中圖儀器金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù)。

?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。有測量機床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。