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VT6000共聚焦成像檢測系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器CEM3000系列高抗振性掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

中圖儀器CEM3000簡單易操作國產(chǎn)臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。它可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

NS系列臺階薄膜厚度測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

CEM3000系列中圖掃描電子顯微鏡可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

SuperVirewW白光干涉表面3D輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。