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VT6000自動(dòng)三維共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖高分辨率鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其抗振設(shè)計(jì)，在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

CEM3000一鍵臺(tái)式掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其操作系統(tǒng)簡便，樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列微納樣品臺(tái)階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。