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中圖儀器的CEM3000臺式SEM掃描電鏡的框架尺寸還有所縮小，具有更高的易用性，要堅固耐用得多。它具有高度的靈活性和豐富的功能，包括多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業(yè)需求，包括半導體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導電性如何，掃描電鏡都可以讓您輕松應對挑戰(zhàn)，獲得出色的SEM圖像和SEM分析結果。

中圖臺階儀廠家采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

SuperViewW納米級光學輪廓白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

CEM3000掃描電鏡能譜儀無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。

NS系列亞納米級垂直分辨率臺階儀臺階高度重復性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩(wěn)定可靠，重復性好，精準拿捏測量的輪廓形貌細節(jié)。

中圖儀器微觀3D形貌共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。